FIB-SEM

    FIB-SEM
    FIB-SEM
機器ID BA-003
分類 分析試料作製・前処理 > 集束イオンビーム
電子顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称 FIB-SEM (Focused Ion beam - Scanning Electron Microscope)
設置機関 筑波大学
設置場所 共同研究棟C
メーカー名 FEI (FEI)
型番 Helios NanoLab 600i
キーワード TEM試料作製
断面観察
組成分析
仕様・特徴 電子とイオンの2種のソースにより、TEM試料作製、イオン照射による直接加工をSEM観察をしながら実施できる。
加速電圧:1-30kV(電子ビーム)
0.5-30kV(Gaイオンビーム)
デポジション用ガス:C,Ptガス
分析機能:EDS
機関代表メールアドレス staff=u-tsukuba-arim.jp ([=]を[@]にしてください)
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