試料作製装置群・スピンコーター・スピンコーター・グローブボックス
設備ID | CT-030 |
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分類 |
成膜装置 > コーター(スピン、ディップ、スプレイなど) 合成設備 > その他 |
装置名称 | 試料作製装置群・スピンコーター・スピンコーター・グローブボックス (Sample preparation devices・Spin coater・Spin coater・Glovebox) |
設置機関 | 公立千歳科学技術大学 |
設置場所 | E301 E210 D201 |
メーカー名 | ミカサ共和理研美輪製作所 (MikasaKYOWARIKENMiwa Manufacturing) |
型番 | 1HD7 K-359S1 下置きガス循環精製装置付パージ式 |
キーワード | |
仕様・特徴 | グローブボックス ・パージ式ガス置換型 ・サイドボックスのみ真空引ガス置換構造 |