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試料作製装置群・スピンコーター・スピンコーター・グローブボックス

設備ID CT-030
分類 成膜装置 > コーター(スピン、ディップ、スプレイなど)
合成設備 > その他
装置名称 試料作製装置群・スピンコーター・スピンコーター・グローブボックス (Sample preparation devices・Spin coater・Spin coater・Glovebox)
設置機関 公立千歳科学技術大学
設置場所 E301 E210 D201
メーカー名 ミカサ共和理研美輪製作所 (MikasaKYOWARIKENMiwa Manufacturing)
型番 1HD7 K-359S1 下置きガス循環精製装置付パージ式
キーワード
仕様・特徴 グローブボックス
・パージ式ガス置換型
・サイドボックスのみ真空引ガス置換構造
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