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UVオゾンクリーナー [UV-1]

    UVオゾンクリーナー [UV-1]
    UVオゾンクリーナー [UV-1]
機器ID NM-606
分類 リソグラフィ > レジスト処理装置
表面処理・洗浄 > その他
装置名称 UVオゾンクリーナー [UV-1] (UV Ozone Cleaner [UV-1])
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 材料信頼性実験棟
メーカー名 サムコ (samco)
型番 UV-1
キーワード 紫外線、UV、オゾン、表面改質、クリーニング
仕様・特徴 ・用途:基板クリーニング,表面改質
・光源:紫外線ランプ (184.9nmおよび253.7nm)
・オゾンジェネレータ:無声放電方式高濃度オゾナイザー
・ステージ温度:室温~300度
・最大試料サイズ:φ8 inch
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