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パルスレーザー堆積装置
設備ID
HK-615
分類
成膜装置 > その他
装置名称
パルスレーザー堆積装置 (Pulse Laser Deposition system)
設置機関
北海道大学
設置場所
創成科学研究棟クリーンルーム
メーカー名
パスカル (Pascal)
型番
PAC-LMBE
キーワード
高真空成膜
RHEED
仕様・特徴
レーザー光源:248nm
基板サイズ:
成膜材料:TiO
2
、STOなど
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