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イオンビームスパッタ装置

設備ID	HK-612
分類	成膜装置 > スッパタリング（スパッタ）
装置名称	イオンビームスパッタ装置 (Ion beam sputtering system)
設置機関	北海道大学
設置場所	創成科学研究棟クリーンルーム
メーカー名	アルバック (Ulvac)
型番	IBS-6000
キーワード	金属膜、カーボン
仕様・特徴	成膜材料：4元、Ni、Cr、SiO₂、W-Si他試料サイズ：最大3インチ