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精密イオン研磨装置

設備ID HK-407
分類 微小加工装置 > イオンミリング(TEM試料作製)
装置名称 精密イオン研磨装置 ( Precision ion polishing system)
設置機関 北海道大学
設置場所 創成科学研究棟01-205
メーカー名 ガタン (Gatan)
型番 PIPSII
キーワード TEM試料作製
薄片加工
仕様・特徴 イオン加速電圧:1 ~ 6 kV
イオン入射角:最大±10°
液体窒素冷却装置
TVカメラ
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