精密イオン研磨装置
設備ID | HK-407 |
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分類 | 微小加工装置 > イオンミリング(TEM試料作製) |
装置名称 | 精密イオン研磨装置 ( Precision ion polishing system) |
設置機関 | 北海道大学 |
設置場所 | 創成科学研究棟01-205 |
メーカー名 | ガタン (Gatan) |
型番 | PIPSII |
キーワード | TEM試料作製 薄片加工 |
仕様・特徴 | イオン加速電圧:1 ~ 6 kV イオン入射角:最大±10° 液体窒素冷却装置 TVカメラ |