オージェ電子分光装置
| 設備ID | HK-202 |
|---|---|
| 分類 |
分光・表面分析 > オージェ電子分光 電子顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | オージェ電子分光装置 (Auger electron spectroscope) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 北海道大学工学部フロンティア応用科学研究棟1-03(02) |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JAMP-9500F |
| キーワード | オージェスペクトル 二次電子像・反射電子像観察 化学状態分析 デプスプロファイル測定 オージェマッピング 大気非曝露導入 結晶方位解析(EBSD) |
| 仕様・特徴 | 加速電圧:0.5～30kV、プローブ電流:10-11～2×10-7A 二次電子分解能:3nm オージェ分析プローブ径最小:8nm アルゴンイオンエッチング銃 EBSD測定 トランスファーベッセル 画面共有システムによる遠隔立ち会い Spectrum investigator、Spectrum Imaging |
