電界放射型走査電子顕微鏡
| 設備ID | HK-106 |
|---|---|
| 分類 | 電子顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 電界放射型走査電子顕微鏡 (Analytical FEG-SEM) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 工学部 EM棟EM202室 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JSM-7001FA |
| キーワード | 微細組織観察 エネルギー分散型X線分光 カソードルミネッセンス EBSD Cross Court |
| 仕様・特徴 | ・分解能：1.2nm (30kV)、3.0nm (1kV) ・加速電圧：0.5～30kV ・倍率：10 ～ 1,000,000 ・EDS ・EBSD ・Cross Court ・CL |
