精密イオン研磨装置
| 設備ID | HK-104 |
|---|---|
| 分類 | 分析試料作製・前処理 > イオンミリング |
| 装置名称 | 精密イオン研磨装置 (PIPS) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 工学部 EM棟EM204室 |
| メーカー名 | ガタン (Gatan) |
| 型番 | PIPS Model 691 |
| キーワード | イオン研磨 金属 半導体 セラミックス 高分子 Arイオン 冷却 |
| 仕様・特徴 | ・イオン加速電圧：1 ～ 6 kV ・イオン入射角：最大±10° ・真空系：ターボ分子ポンプ（TMP）、ダイヤフラムポンプ（DP） ・使用ガス：G1アルゴンガス ・イオンビームモジュレーション機構 ・液体窒素冷却装置 ・TVカメラ |
