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ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡

最終更新日:2025年1月6日
設備ID HK-101
分類 透過電子顕微鏡 > 走査型透過電子顕微鏡
透過電子顕微鏡 > 三次元電子顕微鏡
設備名称 ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡 (Double Cs-corrected scanning transmission electron microscope)
設置機関 北海道大学
設置場所 工学部 新世代先端材料研究実験棟
メーカー名 日本FEI (FEI)
型番 Titan3 G2 60-300
キーワード 高分解能観察
結晶構造解析
組成分布観察
電子エネルギー損失分光
エネルギー分散型X線分光
仕様・特徴 ・加速電圧:60kV-300kV
・TEM分解能:0.07nm、STEM分解能:0.07nm
・X-FEG電子銃
・モノクロメーター搭載
・照射系球面収差補正器
・結像系球面収差補正器
・Super-X EDS検出器
・Gatan GIF QuantumER分光器
・分析試料ホルダー、トモグラフィー試料ホルダー
・遠隔観察
・遠隔オペレーション
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-101
    ダブル球面収差補正走査透過型電子顕微鏡
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