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マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置

設備ID KU-003
分類 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
表面分析(深さ方向元素分析を含む) > その他
回折・散乱 > 電子回折
装置名称 マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 (High resolution SEM with TES high energy resolution EDS)
設置機関 九州大学
設置場所 九州大学超顕微解析研究センターCE21棟
メーカー名 日立ハイテクサイエンス、カールツァイス (Hitachi High-Tech Science)
型番 Zeiss-ULTRA55 + SII-TES
キーワード ナノ材料、構造解析、組成分析、状態分析
仕様・特徴 超伝導転移端検出器による高感度組成・状態分析
    マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置
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