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ウエハプロファイラ

    ウエハプロファイラ
    ウエハプロファイラ
機器ID KT-334
分類 その他分析装置 > 膜厚測定
装置名称 ウエハプロファイラ (Optical Wafer Profiler)
設置機関 京都大学
設置場所 京都大学 吉田キャンパス
メーカー名 ケーエルエー・テンコール(株) (KLA Corporation)
型番 Zeta-388
キーワード 各種基板表面形状測定
仕様・特徴 非接触の3D表面形状測定装置。完全自動計測の為のハンドラを備えている。マルチモード光学系によって、透明・不透明基板の表面粗さ、段差及び膜厚測定が可能。
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