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分光エリプソメーター

    分光エリプソメーター
    分光エリプソメーター
機器ID KT-311
分類 その他分析装置 > 膜厚測定
装置名称 分光エリプソメーター (Spectral Ellipsometer)
設置機関 京都大学
設置場所 京都大学 吉田キャンパス
メーカー名 大塚電子(株) (Otsuka Electronics Co., Ltd.)
型番 FE-5000
キーワード 光学定数測定
膜厚測定(多層膜も可)
仕様・特徴 ・分光エリプソスペクトルの多波長同時測定
・基板(バルク)光学定数(n、k)が直接解析可能
・角度可変測定により、薄膜のより詳細な解析に対応
・測定膜厚範囲 1nm~1μm
・測定波長範囲 300nm~800nm
・サンプルサイズ 200mm × 200mm以上
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