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赤外透過評価検査・非接触厚み測定機

    赤外透過評価検査・非接触厚み測定機
    赤外透過評価検査・非接触厚み測定機
機器ID KT-227
分類 その他分析装置 > 膜厚測定
装置名称 赤外透過評価検査・非接触厚み測定機 (Infrared MEMS Analyzer)
設置機関 京都大学
設置場所 京都大学 吉田キャンパス
メーカー名 (株)モリテックス (MORITEX Corporation)
型番 IRise-T
キーワード 非接触でのボイド等を観察
仕様・特徴 赤外線により、非接触にて対象物の観察(内部観察)を行い、かつシリコンウェハ上の薄膜の厚みを測定することができる。
・基板 最大Φ8インチウェハー
・画像分解能 0.26μm/画素
・厚さ分解能 0.01μm以下( 5~150μm )
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