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スプレーコータ

設備ID KT-109
分類 リソグラフィ > レジスト処理装置
装置名称 スプレーコータ (Photoresist Spray Coater)
設置機関 京都大学
設置場所 京都大学 吉田キャンパス
メーカー名 ウシオ電機(株) (Ushio Inc.)
型番 USC-2000ST
キーワード レジスト塗布
凹凸面対応
仕様・特徴 レジスト噴霧方式により凹凸基板へのコンフォーマルコーティングを実現。
・基板サイズ:Φ4~6(塗布領域:MAX□4)
    スプレーコータ
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