スプレーコータ
設備ID | KT-109 |
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分類 | リソグラフィ > レジスト処理装置 |
装置名称 | スプレーコータ (Photoresist Spray Coater) |
設置機関 | 京都大学 |
設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
メーカー名 | ウシオ電機(株) (Ushio Inc.) |
型番 | USC-2000ST |
キーワード | レジスト塗布 凹凸面対応 |
仕様・特徴 | レジスト噴霧方式により凹凸基板へのコンフォーマルコーティングを実現。 ・基板サイズ:Φ4~6(塗布領域:MAX□4) |