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ナノインプリント装置

    ナノインプリント装置
    ナノインプリント装置
機器ID NU-247
分類 リソグラフィ > ナノインプリント
装置名称 ナノインプリント装置 (Nanoimprint)
設置機関 名古屋大学
設置場所 IB電子情報館西棟5階
メーカー名 SCIVAX (SCIVAX)
型番 X-300 BVU-ND
キーワード 熱ナノインプリント
UVナノインプリント
仕様・特徴 ・形式:熱式,UV式
・最大ワークサイズ:Φ150 mm
・最大荷重:50 kN
・最高仕様温度:250℃,650℃
・UV機能:波長 365 nm/385 nm
・有効照射面積:□100 mm
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