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真空紫外吸収分光計

    真空紫外吸収分光計
    真空紫外吸収分光計
機器ID NU-243
分類 分光・表面分析 > 紫外・可視分光
装置名称 真空紫外吸収分光計 (Ultraviolet absorption spectroscopy )
設置機関 名古屋大学
設置場所 低温プラズマ科学研究センター
メーカー名 NUシステム (NU System)
型番 特注
キーワード 真空紫外吸収分光
プラズマ診断
ラジカル密度計測
仕様・特徴 ・プラズマ診断用
・真空チャンバー壁面に設置
・H,O,N,Cラジカル密度計測可
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