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表面解析プラズマビーム装置

    表面解析プラズマビーム装置
    表面解析プラズマビーム装置
機器ID NU-239
分類 表面処理・洗浄 > プラズマ処理
分光・表面分析 > X線光電子分光
装置名称 表面解析プラズマビーム装置 (Plasma beam system with surface analysis)
設置機関 名古屋大学
設置場所 低温プラズマ科学研究センター
メーカー名 自作 (Lab made)
型番
キーワード プラズマ処理
X線光電子分光
仕様・特徴 ・プラズマビームを材料表面に照射後のin-situ XPS評価により,表面-プラズマ間の反応の解析が可能.
・使用ガス:HBr,Ar,CF4,C4F8,Cl2,H2,N2,O2
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