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走査型電子顕微鏡

設備ID NU-228
分類 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称 走査型電子顕微鏡 (Scanning electron microscope)
設置機関 名古屋大学
設置場所 ベンチャービジネスラボラトリ
メーカー名 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番 S4300
キーワード 表面形状分析
組成分析
仕様・特徴 ・加速電圧:0.5kV~15kV
・分解能:15nm(30kV)
・倍率:~500,000
・最大試料サイズ:直径100 mm
    走査型電子顕微鏡
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