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電子ビーム蒸着装置

    電子ビーム蒸着装置
    電子ビーム蒸着装置
機器ID NU-224
分類 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
装置名称 電子ビーム蒸着装置 (Electron beam evaporation)
設置機関 名古屋大学
設置場所 ベンチャービジネスラボラトリ
メーカー名 アルバック (ULVAC)
型番 EBX-10D
キーワード EB蒸着
仕様・特徴 ・最大投入電力:5kW
・るつぼ数4
・ハースライナー使用
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