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フォトリソグラフィ装置群

    フォトリソグラフィ装置群
    フォトリソグラフィ装置群
機器ID NU-223
分類 リソグラフィ > 光露光(マスクアライナ)
装置名称 フォトリソグラフィ装置群 (photo lighography system)
設置機関 名古屋大学
設置場所 ベンチャービジネスラボラトリ
メーカー名 共和理研 (Kyowariken)
型番 K310P100S
キーワード 光リソグラフィ
コンタクト露光
仕様・特徴 ・最大2インチ基板
・マスクサイズ:3インチ
・最小パタンサイズ 2µm
・スピンコータ,ベーク炉,ドラフトチャンバー利用可
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