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酸化・拡散炉

    酸化・拡散炉
    酸化・拡散炉
機器ID NU-219
分類 熱処理・ドーピング > 酸化
装置名称 酸化・拡散炉 (Oxidization and diffusion furnance)
設置機関 名古屋大学
設置場所 先端技術共同研究施設
メーカー名 光洋リンドバーグ (KOYO Lindberg)
型番 MODEL270-M100
キーワード ウエット酸化
仕様・特徴 ・温度範囲:600-1150℃
・ウェット酸化用
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