酸化・拡散炉

機器ID	NU-219
分類	熱処理・ドーピング > 酸化
装置名称	酸化・拡散炉 (Oxidization and diffusion furnance)
設置機関	名古屋大学
設置場所	先端技術共同研究施設
メーカー名	光洋リンドバーグ (KOYO Lindberg)
型番	MODEL270-M100
キーワード	ウエット酸化
仕様・特徴	・温度範囲：600-1150℃ ・ウェット酸化用