走査型電子顕微鏡
設備ID | NU-212 |
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分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
装置名称 | 走査型電子顕微鏡 (Scanning electron microscope) |
設置機関 | 名古屋大学 |
設置場所 | 先端技術共同研究施設 |
メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
型番 | JSM-6301F |
キーワード | 表面形状分析 組成分析 |
仕様・特徴 | ・線源:冷陰極電界放射型電子銃 ・加速電圧:0.5~30kV ・倍率:10~500,000 ・エネルギー分散型分光器による組成分析可能 |