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走査型電子顕微鏡

設備ID NU-212
分類 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称 走査型電子顕微鏡 (Scanning electron microscope)
設置機関 名古屋大学
設置場所 先端技術共同研究施設
メーカー名 日本電子 (JEOL)
型番 JSM-6301F
キーワード 表面形状分析
組成分析
仕様・特徴 ・線源:冷陰極電界放射型電子銃
・加速電圧:0.5~30kV
・倍率:10~500,000
・エネルギー分散型分光器による組成分析可能
    走査型電子顕微鏡
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