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直交型高速加工観察分析装置

設備ID NU-104
分類 微小加工装置 > 集束イオンビーム(FIB)
走査型顕微鏡 >
装置名称 直交型高速加工観察分析装置 (High performance focused ion beam system (FIB-SEM))
設置機関 名古屋大学
設置場所 超高圧電子顕微鏡施設
メーカー名 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番 MI4000L
キーワード FIBによる試料加工
SEM観察
エネルギー分散型X線分光
仕様・特徴 FIB-SEM 直交配置
FIB, SEM, STEM, Ar Gun, EDS
FIB, SEM 最大加速電圧:30kV
    直交型高速加工観察分析装置
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