単原子分析電子顕微鏡
設備ID | NM-402 |
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分類 |
透過電子顕微鏡 > 走査型透過電子顕微鏡 回折・散乱 > 電子回折 |
装置名称 | 単原子分析電子顕微鏡 (Atomic-resolution analytical electron microscope) |
設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
設置場所 | NIMS並木地区 超高圧電子顕微鏡特殊実験棟 108号室 |
メーカー名 | 日本エフイー・アイ (FEI) |
型番 | FEI Titan Cubed |
キーワード | 超高分解能TEM/STEM |
仕様・特徴 | ・加速電圧80kV-300kV ・分解能70pm (300kV) ・エネルギー分解能80meV (80kV) ・ダブルコレクター ・モノクロメータ |