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電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置

    電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置
    電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置
機器ID NM-207
分類 分光・表面分析 > 電子線プロープマイクロアナライザー
装置名称 電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置 (Field Emission Electron Probe Micro-Analyzer (FE-EPMA))
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 精密計測実験棟122号室
メーカー名 日本電子 (JEOL)
型番 JXA-8500F
キーワード 対象試料:主として金属,半導体物質,無機材料
分析用途:
・金属,半導体,無機材料等の表面(サブμm~数μm)の元素分析(定性分析、定量分析、半定量分析、検量線分析、線分析、面分析など)
仕様・特徴 ・電界放出形電子銃
・加速電圧:1~30 kV
・照射電流:10 pA ~500 nA
・測定可能元素:Be~U
・最大試料サイズ:100 x 100 x 20 mm
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