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環境制御マニュアルプローバステーション

    環境制御マニュアルプローバステーション
    環境制御マニュアルプローバステーション
機器ID UT-305
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称 環境制御マニュアルプローバステーション (Environmental control manual prober station)
設置機関 東京大学
設置場所 東京大学浅野キャンパス武田先端知ビル
メーカー名 (東陽テクニカ等) (Toyo Corporation)
型番 ①半導体特性評価システム4200-SCS ②強誘電体特性評価システムFCE1EEA-200型 ③誘電体インピーダンス測定システム1260 ④極低温プローバー装置CPX-VF
キーワード 半導体特性解析 強誘電特性解析 インピーダンス解析
仕様・特徴 □ 主な仕様
・低温プローバ(CRX-4K):6K~350K
・高温プローバ(HCP-401/400):室温~400度
・半導体パラメータ測定(4200-SCS型)
・誘電体測定(FCE1EEA-200型)
・インピーダンス測定(ソーラートロン1260)
□主な用途
・ 強誘電体分極評価測定
・インピーダンス周波数測定
・キャパシタ周波数測定など
機関代表メールアドレス info=arim.t.u-tokyo.ac.jp ([=]を[@]にしてください)
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