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拡がり抵抗測定装置

    拡がり抵抗測定装置
    拡がり抵抗測定装置
機器ID TU-321
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称 拡がり抵抗測定装置 (Spreading resistance measurement)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 Solid State Measurement (Solid State Measurement)
型番 SSM150
キーワード 不純物濃度プロファイルの測定
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片
ウェハを小片にして端面を斜め研磨した後に測定
機関代表メールアドレス office.cints=grp.tohoku.ac.jp ([=]を[@]にしてください)
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