膜厚計

    膜厚計
    膜厚計
機器ID TU-302
分類 その他分析装置 > 膜厚測定
装置名称 膜厚計 (Film thickness measurement)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 ナノメトリクス (Nanometrics)
型番 NanoSpec3000
キーワード 白色光を用いた光学式の膜厚測定
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~6インチ
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