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エキシマ洗浄装置

設備ID TU-265
分類 表面処理・洗浄 > プラズマ処理
リソグラフィ > レジスト処理装置
リソグラフィ > ナノインプリント
装置名称 エキシマ洗浄装置 (Excimer lamp cleaner)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 デアネヒステ (Dernaechste)
型番 EXC-1201-DN
キーワード ウェハやモールド上の有機物、残渣除去
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~4インチ
ガス:O2
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