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アルバック アッシング装置

設備ID TU-212
分類 表面処理・洗浄 > プラズマ処理
リソグラフィ > レジスト処理装置
膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称 アルバック アッシング装置 (Ulvac asher)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 アルバック (Ulvac)
型番 UNA-2000
キーワード レジスト除去
仕様・特徴 サンプルサイズ:4、6インチ
カセットtoカセット
プラズマ方式:CCP(2.45GHz)
ガス:O2、H2フォーミングガス
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