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球面成膜用スパッタ装置

設備ID TU-166
分類 成膜装置 > スパッタリング(スパッタ)
装置名称 球面成膜用スパッタ装置 (Sputtering for ball)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム
メーカー名 和泉テック (Izumi-tech)
型番 -
キーワード 球面体へのスパッタリング
Au、Cr、Al、Pd、SiO2など
仕様・特徴 サンプル:球体(直径1.0、3.3mm)
O2プラズマクリーニング可
    球面成膜用スパッタ装置
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