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アネルバスパッタ装置

設備ID TU-165
分類 成膜装置 > スパッタリング(スパッタ)
装置名称 アネルバスパッタ装置 (Anelva sputtering )
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 アネルバ (Anelva)
型番 SPF-730
キーワード 大型のバッチ式のRFスパッタ
主にAl、AlSiなど
仕様・特徴 サンプルサイズ、同時処理枚数:4インチ×9枚、または6インチ×4枚
電源:RF×1
ターゲット:8インチ×1
方式:スパッタUP
    アネルバスパッタ装置
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