アネルバスパッタ装置
設備ID | TU-165 |
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分類 | 成膜装置 > スパッタリング(スパッタ) |
装置名称 | アネルバスパッタ装置 (Anelva sputtering ) |
設置機関 | 東北大学 |
設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
メーカー名 | アネルバ (Anelva) |
型番 | SPF-730 |
キーワード | 大型のバッチ式のRFスパッタ 主にAl、AlSiなど |
仕様・特徴 | サンプルサイズ、同時処理枚数:4インチ×9枚、または6インチ×4枚 電源:RF×1 ターゲット:8インチ×1 方式:スパッタUP |