MEMS用統合解析ソフト
| 設備ID | TT-033 |
|---|---|
| 分類 | 理論計算・シミュレーション > CAD |
| 装置名称 | MEMS用統合解析ソフト (Integrated analysis software for MEMS) |
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
| 設置場所 | 通常実験室 |
| メーカー名 | インテリセンス (IntelliSense) |
| 型番 | IntelliSuite |
| キーワード | デバイス形状やプロセス手順のチェックに活用。 |
| 仕様・特徴 | 工程データ、フローデータ、材料データ、2Dマスクデータ、3Dモデルデータの利活用に有効。 |