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球面露光装置

設備ID TU-068
分類 リソグラフィ > 光露光(マスクレス、直接描画)
装置名称 球面露光装置 (Maskless exposure system for ball)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム
メーカー名 東栄科学産業 (Toei Scientific Instruments)
型番 -
キーワード 球面体へのマスクレス露光
仕様・特徴 サンプル:球体(直径1.0、3.3mm)
最小パターン:1.5µmハーフピッチ
アライメント精度:±5µm
    球面露光装置
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