サブフェムト・インクジェット

設備ID	TU-267
分類	その他加工装置 > インクジェット堆積装置
装置名称	サブフェムト・インクジェット (Sub-femto inkjet)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 3F実験室
メーカー名	SIJテクノロジー (SIJテクノロジー)
型番	PR150-THU
キーワード	低粘度から高粘度の材料のパターニング
仕様・特徴	最小線幅：約5μm