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サブフェムト・インクジェット
設備ID
TU-267
分類
その他加工装置 > インクジェット堆積装置
装置名称
サブフェムト・インクジェット (Sub-femto inkjet)
設置機関
東北大学
設置場所
東北大学西澤潤一記念研究センター 3F実験室
メーカー名
SIJテクノロジー (SIJテクノロジー)
型番
PR150-THU
キーワード
低粘度から高粘度の材料のパターニング
仕様・特徴
最小線幅:約5μm
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