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ウェハプローバ

設備ID GA-011
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称 ウェハプローバ (Wafer prober)
設置機関 香川大学
設置場所 香川大学 創造工学部
メーカー名 カール・ズース (SUSS MicroTec)
型番 PM5
キーワード 配線や電極等の導通/断線等の電気的な特性評価
仕様・特徴 対応基板サイズ:直径1インチ~150mm
X・Y移動範囲(粗動):最大150mm×150mm
X・Y移動範囲(微動):10mm×10mm
Θ調整範囲:360°
高さ調整範囲:10mm
顕微鏡X・Y移動範囲:50mm×50mm
    ウェハプローバ
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