ウェハプローバ
設備ID | GA-011 |
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分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
装置名称 | ウェハプローバ (Wafer prober) |
設置機関 | 香川大学 |
設置場所 | 香川大学 創造工学部 |
メーカー名 | カール・ズース (SUSS MicroTec) |
型番 | PM5 |
キーワード | 配線や電極等の導通/断線等の電気的な特性評価 |
仕様・特徴 | 対応基板サイズ:直径1インチ~150mm X・Y移動範囲(粗動):最大150mm×150mm X・Y移動範囲(微動):10mm×10mm Θ調整範囲:360° 高さ調整範囲:10mm 顕微鏡X・Y移動範囲:50mm×50mm |