レーザー式非接触三次元形状測定器
設備ID | GA-008 |
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分類 | 光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡 |
装置名称 | レーザー式非接触三次元形状測定器 (Laser non-contact three-dimensional shape measuring system) |
設置機関 | 香川大学 |
設置場所 | 香川県科学技術研究センター |
メーカー名 | 三鷹光器 (Mitaka Kohki) |
型番 | NH-3N |
キーワード | レ-ザによる非接触・非破壊的な表面形状観察や断面形状観察 |
仕様・特徴 | 計測方法:レーザープローブ方式 計測範囲:150mm×150mm×10mm(X、Y、Z) 測定分解能:0.1×0.1×0.01μm |