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レーザー式非接触三次元形状測定器

設備ID GA-008
分類 光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡
装置名称 レーザー式非接触三次元形状測定器 (Laser non-contact three-dimensional shape measuring system)
設置機関 香川大学
設置場所 香川県科学技術研究センター
メーカー名 三鷹光器 (Mitaka Kohki)
型番 NH-3N
キーワード レ-ザによる非接触・非破壊的な表面形状観察や断面形状観察
仕様・特徴 計測方法:レーザープローブ方式
計測範囲:150mm×150mm×10mm(X、Y、Z)
測定分解能:0.1×0.1×0.01μm
    レーザー式非接触三次元形状測定器
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