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i線ステッパ

設備ID TU-063
分類 リソグラフィ > 光露光(ステッパ)
装置名称 i線ステッパ (i-line stepper)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 キヤノン (Canon)
型番 FPA-3030i5+
キーワード 高精度・高速露光
多目的で利用できるi線ステッパ
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~8インチ
対応オリフラ(OF):4と6インチはOF(JEITA/SEMI)、8インチはノッチ
カセットtoカセット
波長:365nm
最小露光線幅:0.35μm以下
重ね合せ精度 :40nm
レチクル:6インチ(6025)
両面アライメント対応、透明基板対応、反り基板対応、Nikonレチクル対応
    i線ステッパ
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