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表面段差計

    表面段差計
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機器ID RO-534
分類 その他分析装置 > 段差計
装置名称 表面段差計 (Profilometer)
設置機関 広島大学
設置場所 CR東棟1F
メーカー名 BRUKER (BRUKER)
型番 Dektak XT-E
キーワード 対応wafer:4inch以下
仕様・特徴 垂直範囲:10nm~1mm、垂直解像度:最高0.1nm
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