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表面段差計
設備ID
RO-534
分類
膜厚・粒度測定 > 段差計
装置名称
表面段差計 (Profilometer)
設置機関
広島大学
設置場所
CR東棟1F
メーカー名
BRUKER (BRUKER)
型番
Dektak XT-E
キーワード
対応wafer:4inch以下
仕様・特徴
垂直範囲:10nm~1mm、垂直解像度:最高0.1nm
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