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干渉式膜厚計

    干渉式膜厚計
    干渉式膜厚計
機器ID RO-532
分類 その他分析装置 > 膜厚測定
装置名称 干渉式膜厚計 (Spectroscopic reflectometer)
設置機関 広島大学
設置場所 CR西棟1F
メーカー名 ナノメトリクスジャパン (Nanometrics Inc)
型番 AFT 5000
キーワード
仕様・特徴 可視光及び紫外光光源、多層膜対応解析ソフト搭載。
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