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分光エリプソメーター

    分光エリプソメーター
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機器ID RO-531
分類 その他分析装置 > エリプソメーター
装置名称 分光エリプソメーター (Spectroscopic ellipsometer)
設置機関 広島大学
設置場所 CR東棟1F
メーカー名 J.A. Woollam Japan (J.A. Woollam Japan)
型番 M2000-D
キーワード
仕様・特徴 測定可能最小膜厚10nm,分光波長範囲193~1000nm、
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