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二次イオン質量分析装置

設備ID RO-523
分類 質量分析 > 四重極質量分析
装置名称 二次イオン質量分析装置 (SIMS)
設置機関 広島大学
設置場所 西棟1F
メーカー名 アルバックファイ (ULVAC-PHI, Inc.)
型番 SIMS6650
キーワード
仕様・特徴 Cs,Oガン装備四重極型質量分析機、
一次イオン最小加速エネルギー1keV
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