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コータデベロッパ

設備ID TU-062
分類 成膜装置 > コーター(スピン、ディップ、スプレイなど)
リソグラフィ > レジスト処理装置
表面処理・洗浄 > ウェット処理
装置名称 コータデベロッパ (Coater developer)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 Suss (Suss)
型番 ACS200Gen3
キーワード ベーパーHMDS処理、レジスト塗布、ベーク、現像、スピン乾燥を自動処理
仕様・特徴 サンプルサイズ:2~8インチ
カセットtoカセット
HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレート 1セット
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