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スピン乾燥機
設備ID
TU-061
分類
表面処理・洗浄 > ウェット処理
装置名称
スピン乾燥機 (Spin dryer)
設置機関
東北大学
設置場所
東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名
東邦化成 (Toho Kasei)
型番
ZAA-4
キーワード
平置き式でウェハやフォトマスクの乾燥
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~7インチ
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