エッチング装置(Si深掘用)
設備ID | RO-413 |
---|---|
分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
装置名称 | エッチング装置(Si深掘用) (Si deep etching system) |
設置機関 | 広島大学 |
設置場所 | CR東棟1F |
メーカー名 | 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products CO.,LTD.) |
型番 | MUC-21 |
キーワード | 対応wafer:4inch以下 |
仕様・特徴 | Bosch Processを用いた深掘エッチング装置, C4F8, SF6, O2, Ar使用可能 |