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エッチング装置(Si深掘用)

設備ID RO-413
分類 膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称 エッチング装置(Si深掘用) (Si deep etching system)
設置機関 広島大学
設置場所 CR東棟1F
メーカー名 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products CO.,LTD.)
型番 MUC-21
キーワード 対応wafer:4inch以下
仕様・特徴 Bosch Processを用いた深掘エッチング装置, C4F8, SF6, O2, Ar使用可能
    エッチング装置(Si深掘用)
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