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汎用プラズマ処理装置
設備ID
RO-412
分類
膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称
汎用プラズマ処理装置 (Reactive ion etching system for general purpose)
設置機関
広島大学
設置場所
CR西棟1F
メーカー名
神戸製鋼 (Kobe Steel, Ltd.)
型番
キーワード
対応wafer:2inch、cut waferは2inchに貼り付けて対応可
仕様・特徴
SF
6
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