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汎用プラズマ処理装置

設備ID RO-412
分類 膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称 汎用プラズマ処理装置 (Reactive ion etching system for general purpose)
設置機関 広島大学
設置場所 CR西棟1F
メーカー名 神戸製鋼 (Kobe Steel, Ltd.)
型番
キーワード 対応wafer:2inch、cut waferは2inchに貼り付けて対応可
仕様・特徴 SF6
    汎用プラズマ処理装置
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