ポストメタライゼーションアニール（PMA）炉

設備ID	RO-225
分類	熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール
装置名称	ポストメタライゼーションアニール（PMA）炉 (Post-metallization annealing furnaces)
設置機関	広島大学
設置場所	CR西棟１F
メーカー名	神港精機 (SHINKO SEIKI Co., LTD)
型番
キーワード	対応wafer：２inch、cut wafer
仕様・特徴	水素アニール最高使用温度900℃