共用設備検索

ウェル拡散炉

設備ID RO-224
分類 熱処理・ドーピング > 拡散
装置名称 ウェル拡散炉 (Well diffusion furnaces)
設置機関 広島大学
設置場所 CR西棟1F
メーカー名 東京エレクトロン (Tokyo Electron)
型番 370MI- MINI
キーワード 2inch、cut wafer
仕様・特徴 最高使用温度1150℃
    ウェル拡散炉
    ウェル拡散炉
スマートフォン用ページで見る