共用設備検索

酸化炉

設備ID RO-221
分類 熱処理・ドーピング > 酸化
装置名称 酸化炉 (Oxidation furnaces)
設置機関 広島大学
設置場所 CR西棟１F
メーカー名 東京エレクトロン (Tokyo Electron)
型番
キーワード 対応wafer：２inch、cut wafer
仕様・特徴 最高使用温度1150℃
    酸化炉
    酸化炉
スマートフォン用ページで見る